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最佳答案:3SiCl4+2N2+6H2===Si3N4+12HCl
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最佳答案:3SiCl4+2N2+6H2Si3N4+12HCl
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最佳答案:可用化学气相沉积法,使SiCl4和N2在H2气氛保护下反应,产物Si3N4积在石墨基体上,形成一层致密的Si3N4层。此法得到的氮化硅纯度较高,其反应如下: S
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最佳答案:SiCl4+2N2+6H2=Si3N4+12HClSi3N4 N-3价 Si还是+4价,这样说其实还是N2+3H2=2NH3然后SiCl4+4NH3=Si3N4