同一族的第一个元素C可以形成CO,最后2个元素Sn、Pb可以形成SnO、PbO,那么Si和Ge一样能形成相应的一氧化物,只是不常见而已.
事实上,SiO已经被人制备出来,CAS号：10097-28-6.
通过SiO2与Si共热或者被H2、CO还原可以得到SiO气态分子.它易歧化成Si和SiO2.SiO分子可以通过液氦降温的方法被捕获到Ar晶体的晶格里.它的键长与分子状态的SiO2接近,并不像CO一样明显形成三键.
固态SiO可在1300℃真空条件下用Si还原SiO2得到,为黄褐色无定形固体,密度2.13g/cm^3,熔点约1702℃,沸点1880℃,可用于电子工业和制造光学玻璃.最近有研究显示固态SiO是无定形态Si和SiO2的非均相混合物,因为发现了Si和SiO2两相表面间的成键.