半导体的制作过程中,哪些工艺要用到金属钛?

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  • Ti的附着力很强,它的硅化物导电性好、耐热性能好,主要用作为电极接触金属.特别是在多层电极接触技术中,往往用它作为第一层材料.在有的自对准技术中也采用Ti.

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