解题思路：短周期元素甲、乙、丙、丁、戊的原子序数依次增大，甲是周期表中原子半径最小的元素，则甲为H；乙形成的气态氢化物的水溶液呈碱性，则乙为N；乙与丁同族，则丁为P；丙、丁、戊同周期，处于第三周期，丙单质可制成半导体材料，则丙为Si，戊的最高化合价为+7，则戊为Cl，据此解答．
短周期元素甲、乙、丙、丁、戊的原子序数依次增大，甲是周期表中原子半径最小的元素，则甲为H；乙形成的气态氢化物的水溶液呈碱性，则乙为N；乙与丁同族，则丁为P；丙、丁、戊同周期，处于第三周期，丙单质可制成半导体材料，则丙为Si，戊的最高化合价为+7，则戊为Cl，
A．同周期随原子序数增大原子半径减小，同主族自上而下原子半径增大，故原子半径Si＞P＞N，故A错误；
B．同周期随原子序数增大，元素非金属性增强，故非金属性Cl＞P＞Si，故B错误；
C．甲与戊形成的化合物为HCl，属于共价化合物，故C正确；
D．乙、丙、丁最高价氧化物对应的水化物分别为硝酸、硅酸、磷酸，硝酸是强酸，硅酸是弱酸、磷酸是中强酸，故D错误，
故选C．
点评：
本题考点： 原子结构与元素周期律的关系．
考点点评： 本题考查结构性质位置关系、元素周期律等，难度不大，侧重对基础知识的巩固利用．