主要有：而、何、乎、乃、其、且、若、所、为、焉、也、以、因、于、与、则、者、之 18个文言虚词.
一、用作连词.（表并列关系、表层进关系、选择关系、表承接关系、表转折关系、因果目的关系、假设关系、修饰关系）
二、用作助词.不能充当句子成份,只在句中起某种辅助作用的词.
三、用作介词.是把名词、代词或名词性词组介绍给动词、形容词,以表示与之有关的处所、时间、方式、原因、对象等的词.不能单独使用,它一定与所带的宾语组成介宾词组来修饰或补充说明动词、形容词,作句子的状语或补语.介词可根据功用分表处所的、表时间的、表原因的、表对象的、表凭借的、表被动的等六种.使用频率高,用法比较复杂的介词——于、以、为、与.
四、用作代词.它的作用是避免相同词语重复,使文章简洁.常用词——之、其
五、语气词.表示肯定、否定、推测、反诘等各种语气的副词.
具体例子可参考下面的参考资料