Metal Etch,Poly Etch和Oxide Etch各是什么?具体工艺是什么?

1个回答

  • 字面意思直译就可以,金属刻蚀,poly刻蚀,氧化物刻蚀.

    具体工艺条件无法回答,只能简单的说,这3中刻蚀在半导体行业都是干法刻蚀,也就是dry etch.主要区别在于所有的刻蚀气体不一样,比如,金属刻蚀用CL2,氧化物刻蚀用C4F6,C5F8.

相关问题

栏目推荐： 还是二氧化硫 向氢氧化钙加氧化钙 下载音乐歌曲 透镜及其应用 函数是什么意思高中 人民教育出版社电子课本 西安翻译公司 称霸一方 三年级作文我的同学 英语翻译有创造力的 x=1是方程式吗 置换反应氧化剂 制去二氧化碳 4x100米接力 氢氧化钠能溶于 二次函数a b求法 求方程用什么法 二氧化氮作用 不同物质组成的能量 有二元函数吗

频道推荐： 长方形体积公式是什么 水氢氧化钠作用 物质的量怎么转化 酒精如何消毒 x y=z是函数吗 过氧化钠加入水中 19 30英语翻译 学英语翻译背单词 共同成长作文 书字开头的成语 指数分布 常见的二氧化碳气体 数学英语单词 会分解的氧化物 古生物学 二氧化锰加水 公司税率多少 四川的英语翻译 冰的主要物质 二氧化碳回收

全站推荐： 蔽伤之忧 函数导数是怎么算的 盐酸在水溶液中是 二元方程顶点 行事官 碳酸钠溶液的电解 三致志 迭棋 文学名著 痛湔宿垢 阔少 绖騝之才 薄触 共享的英语翻译 合梨 记忆的长河 燥脾胃 下列哪种说法是错的 溶液检验离子方程式 率法