二次电子像的衬度和背散射电子像的衬度有何特点

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    背散射电子像的衬度要比二次电子像的衬度大,二次电子一般用于形貌分析,背散射电子一般用于区别不同的相.

    二次电子像:

    1)凸出的尖棱,小粒子以及比较陡的斜面处二次电子产额较多,在荧光屏上这部分的亮度较大.

    2)平面上的二次电子产额较小,亮度较低.

    3)在深的凹槽底部尽管能产生较多二次电子,使其不易被控制到,因此相应衬度也较暗.

    背散射电子像:

    1)用背散射电子进行形貌分析时,其分辨率远比二次电子像低.

    2)背散射电子能量高,以直线轨迹逸出样品表面,对于背向检测器的样品表面,因检测器无法收集到背散射电子而变成一片阴影,因此,其图象衬度很强,衬度太大会失去细节的层次,不利于分析.因此,背散射电子形貌分析效果远不及二次电子,故一般不用背散射电子信号.