解题思路：根据题目给出的信息，高温下，碳做还原剂时，碳和二氧化硅生成CO和硅；利用沸点的不同提纯SiHCl3属于蒸馏；浓硫酸是常用的干燥剂，装置C需水浴加热，目的是加快反应的速率；装置D不能采用普通玻璃管的原因是温度太高，普通玻璃管易熔化；保证实验成功的关键是：装置要严密；控制好温度等．
（1）高温下，碳做还原剂时，生成CO，即2C+SiO2═2CO+Si．故答案为：2C+SiO2═2CO+Si
（2）利用沸点的不同提纯SiHCl3属于蒸馏，故答案为：蒸馏
（3）浓硫酸是常用的干燥剂，装置C需水浴加热，目的是使SiHCl3气化，与氢气反应；SiHCl3与过量的H2在1000℃～1100℃反应制得纯硅，温度太高，普通玻璃管易熔化；保证实验成功的关键是：装置要严密；控制好温度等；书写化学方程式时，要注意配平．故答案为：①浓硫酸；使SiHCl3气化，与氢气反应；②SiHCl3与过量的H2在1000℃～1100℃反应制得纯硅，温度太高，普通玻璃管易熔化；SiHCl3+H2=Si+3HCl；③装置要严密；控制好温度．
点评：
本题考点： 物质的相互转化和制备；气体的干燥（除水）；质量守恒定律及其应用；书写化学方程式、文字表达式、电离方程式．
考点点评： 本考点属于物质的转化和制备题，还考查了化学方程式的书写．本题利用文字描述设计出相应的实验步骤，分步骤进行鉴别，解决本考点需要根据实验现象，综合分析，从而得出正确的结论，要注意知识的整体性．此考点主要出现在实验题中．