这个问题也困扰我好久了!谢谢了!“热蒸发法是物理气相沉积,前体就是ZnO.CVD的前体一般是锌粉,在气流中有氧气反应生成ZnO,有时可能还用点催化剂,所以叫做化学气相沉积.我理解有这点差别 ” 查看原帖>>
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