在高真空状态下,真空室内残余气体分子的65%到95%以上都是水分子以及水分子与其他气体分子的结合物,这些水汽分子是典型的

4个回答

  • 可行方法和其优缺点:

    1.高温烘烤：

    2.低温系统：

    CryoPump

    价格昂贵

    吸附面积小

    再生时间长

    3.液态氮(LiN2)

    价格昂贵

    安全性

    4.Polycold 低温系统

    利用冷煤来做循环

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