证明:(Ⅰ)连接AG交BE于D,连接DF,EG.
∵E,G分别是AA1,BB1的中点,
∴AE∥BG且AE=BG,∴四边形AEGB是矩形.
∴D是AG的中点(3分)
又∵F是AC的中点,
∴DF∥CG(5分)
则由DF?平面BEF,
CG?平面BEF,
∴CG∥平面BEF,
(Ⅱ)∵在直三棱柱ABC-A1B1C1中,C1C⊥底面A1B1C1,
∴C1C⊥A1C1.
又∵∠A1C1B1=∠ACB=90°,
即C1B1⊥A1C1,
∴A1C1⊥面B1C1CB(9分)
而CG?面B1C1CB,
∴A1C1⊥CG(12分)
又CG⊥C1G,∴
CG⊥平面A1C1G(14分)