在光刻工艺中的图形分辨率是什么意思

1个回答

  • 是光刻激光可刻蚀出来的图形最小距离.

    小于这个距离,就不能清晰的得到你想要的图像.

    其与光源波长及综合因子k1(基本是常数)正比,与镜头数值孔径的平方成反比.

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