从自来水到去离子水一般要经过几步处理：1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质； 2、再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子； 3、然后加压通过反渗透膜； 4、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物.假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次离子交换和反渗透过程.而蒸馏水只是先气化再冷凝,纯度一般不如去离子水.实际半导体工业中用的大多数是去离子水
从自来水到去离子水一般要经过几步处理：1、先通过石英砂过滤颗粒较粗的杂质； 2、再分别依次通过阴阳离子交换柱去除离子； 3、然后加压通过反渗透膜； 4、最后一般还要经过一步紫外杀菌以去除水中的微生物.假如此时电阻率还没有达到要求的话,可以再进行一次离子交换和反渗透过程.而蒸馏水只是先气化再冷凝,纯度一般不如去离子水.实际半导体工业中用的大多数是去离子水