《游褒禅山记》中文言虚词“其”字在文中有二十处之多,大致可分为五种类型：
一、 指示代词,相当于“那”、“那个”、“那些”
例：（1）唐浮图慧褒始舍于其址
（2）以故其后名之曰“褒禅”
（3）距其院东五里
（4）则其好游者不能穷也
（5）盖其又深
（6）则或咎其欲出者
（7）则其至又加少矣
二、 人称代词,相当于“它”（他）
（8）以其乃华山之阳名之也
（9）其文漫灭
（10）独其为文犹可识,曰：“花山”
（11）其下平旷
三、 人称代词,作“它的”讲
（12）问其深
（13）然视其左右
（14）后世之谬其传而莫能名者
四、 人称代词,活用为第一人称,相当于“我”、“我们”、“自己”
（15）既其出
（16）以其求思之深而无不在也
（17）而余亦悔其随之而不得极夫游之乐
五、 语气副词,表示反问语气,可译为“难道”；表估计时,译为“大概”、“可能”
（18）其孰能讥之乎
（19）入之愈深,其进愈难
（20）而其见愈奇