泉水用于研究作为柔性悬臂梁如图6.这些弹簧和活塞是一个单片结构,以避免装配的小弹簧.弹簧床是用wire-µEDM用不锈钢制成.该生产技术允许很高的纵横比:泉水如图6是50µm宽,3000µm长.活塞直径1毫米、长度2.5毫米和活塞杆直径500µm已组装与上述的三个技术.角误差的α(见图4)为0.5º以防圆柱总成,0.41º时0.33º锥,
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