平膜片指的是隔离膜充油芯体?如果是,需要先将芯片基座与膜片焊接,然后将芯片与粘接在基座上,然后在进行充油步骤.充油的时候需要保证充油环境:真空+高温,完成后需要将冲油孔密封.完成后再对传感器进行零位和温度系数补偿.
平膜片压阻式压力传感器的设计方法及步骤
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