特点 MBE MOCVD
原材料 单质元素 气体/液体化合物
蒸发 热蒸发,电子束蒸发 气压,载气
流量控制 腔温度 流量控制器
开关 机械开关 气阀
外延环境 超真空 氢气/氮气气氛,10-1kmbar压力
分子输运 弹道 扩散
表面反应 物理化学吸附 化学反应
求翻译下面表格（MBE和MOCVD的对比）
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