位移传感器主要由弹性体、电阻应变敏感元件和变换电路等组成.用电阻应变式微位移传感器组成位置闭环控制系统,电阻应变式微位移传感器是将待测位移转换力电阻量变化的装置.可以将传感器和微位移驱动器集成于一体,而无需附加机构,所以灵敏度高、体积小、利息低、位移分辨率较高,但非线性误差较大,易受温度影响.
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