高温热解沉积法和化学气相沉积法有啥不同?

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  • 气相沉积法 化学气相沉积(CVD)是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料在PECVD和HDPCVD系统中有些方面还特别令人感兴趣是通过调节能量,偏压以及其它

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