PZT薄膜具有明显的正压电效应和负压电效应
当它用于传感器的制作时,具有高的灵敏度和低电噪声;用于驱动器的制作时具有很高的响应速度和较大的输出应力.所以它被广泛应用于电子、光学、微机械、各种压电功能器件和微电子机械系统(MEMS)等领域,例如用于悬臂梁驱动器、原子力显微镜、超声微马达等方面
PZT薄膜具有明显的正压电效应和负压电效应
当它用于传感器的制作时,具有高的灵敏度和低电噪声;用于驱动器的制作时具有很高的响应速度和较大的输出应力.所以它被广泛应用于电子、光学、微机械、各种压电功能器件和微电子机械系统(MEMS)等领域,例如用于悬臂梁驱动器、原子力显微镜、超声微马达等方面