白色立方晶体；熔点＞1702°C,沸点1880°C,密度2.13克/厘米3.一氧化硅不太稳定,在空气中会氧化成二氧化硅；易溶于强碱溶液,生成硅酸盐并放出氢气.当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反应）而成硅和二氧化硅.一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅.一氧化硅可由二氧化硅在高温下与单质硅作用后迅速冷却制得：
固态一氧化硅可作绝缘材料.
白色立方晶体；熔点＞1702°C,沸点1880°C,密度2.13克/厘米3.一氧化硅不太稳定,在空气中会氧化成二氧化硅；易溶于强碱溶液,生成硅酸盐并放出氢气.当一氧化硅蒸气缓慢冷凝时会歧化（见歧化反应）而成硅和二氧化硅.一氧化硅能溶于氢氟酸和硝酸的混合酸中并放出四氟化硅.一氧化硅可由二氧化硅在高温下与单质硅作用后迅速冷却制得：
固态一氧化硅可作绝缘材料.