酸性蚀刻液一般是不会有沉淀的,除非是单液型酸性蚀刻液----停机时间太久,温度太低等.
碱性蚀刻液若有沉淀,先看一下蚀刻原理:
Cu+Cu(NH3)4Cl2 → 2Cu(NH3)2Cl
副反应:
Cu+Cu2+ → 2Cu＋
再生原理:
4Cu(NH3)2Cl+O2+4NH4OH+4NH4Cl → 4Cu(NH3)4Cl2+6H2O
很明显,产生的沉淀是CuCl等.要让其溶解,需用NH4Cl络合.
因此,检查添加系统是否正常,蚀刻子液是否稳定等
蚀刻液为什么会沉淀?
酸性蚀刻液一般是不会有沉淀的,除非是单液型酸性蚀刻液----停机时间太久,温度太低等.
碱性蚀刻液若有沉淀,先看一下蚀刻原理:
Cu+Cu(NH3)4Cl2 → 2Cu(NH3)2Cl
副反应:
Cu+Cu2+ → 2Cu＋
再生原理:
4Cu(NH3)2Cl+O2+4NH4OH+4NH4Cl → 4Cu(NH3)4Cl2+6H2O
很明显,产生的沉淀是CuCl等.要让其溶解,需用NH4Cl络合.
因此,检查添加系统是否正常,蚀刻子液是否稳定等