用X射线照射试样时,试样可以被激发出各种波长的荧光X射线,需要把混合的X射线按波长（或能量）分开,分别测量不同波长（或能量）的X射线的强度,以进行定性和定量分析,为此使用的仪器叫X射线荧光光谱仪.由于X光具有一定波长,同时又有一定能量,因此,X射线荧光光谱仪有两种基本类型：波长色散型和能量色散型.能量色散的最大优点是可以同时测定样品中几乎所有的元素.因此,分析速度快.另一方面,由于能谱仪对X射线的总检测效率比波谱高,因此可以使用小功率X光管激发荧光X射线.另外,能谱仪没有光谱仪那么复杂的机械机构,因而工作稳定,仪器体积也小.缺点是能量分辨率差,探测器必须在低温下保存.对轻元素检测困难.
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