(1)配制500mL 0.5mol/L的NaCl溶液的步骤为:计算、称量、溶解、转移、洗涤、定容、摇匀等,所以正确的配制顺序为:①②④③⑤,
故答案为:①②④③⑤;
(2)如果没有洗涤烧杯和玻璃棒,配制的溶液中溶质氯化钠的物质的量偏小,配制的溶液浓度偏低;
定容时如果加水超过容量瓶刻度线,会导致配制的溶液体积偏大,配制的溶液浓度偏低,
故答案为:偏低;偏低;
(3)加蒸馏水时不慎超过了刻度,导致容量瓶中进入的蒸馏水体积偏大,配制的溶液体积偏大,溶液浓度偏低,需要重新配制;
向容量瓶中转移溶液时,不慎有液滴掉在容量瓶外面,导致配制的溶液中溶质的物质的量偏小,配制的溶液浓度偏低,需要重新配制,
故答案为:重新配制;重新配制.