高纯气体(High Purity Gases)气体工业名词,通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体.对于不同类别的气体,纯度指标不同,例如对于氮,氢,氩,氦而言,通常指纯度等于或高于99.999%的为高纯气体；而对于氧气,纯度为99.199%即可称高纯氧；对于碳氢化合物,纯度为99199%的即可认为是高纯气体.高纯气体应用领域极宽,在半导体工业,高纯氮,氢,氩,氦可作为运载气,保护气和配制混合气的底气. 高纯气体根据分子结构的不同可以分为有机高纯气体,和无机高纯气体.
高纯氢气和高纯氮气都是无极高纯气体.