比较通用和便利的是接触式的四点探针测试法,可以测试半导体材料的电阻率和方块电阻.还有无接触的测试方法.具体方法的采用,要根据实际情况来选择.
测试半导体材料电阻率和方块电阻主要有哪些方法
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