《古代汉语虚词词典》对于“唯”、“惟”的使用是这样描述的：“唯,可用作副词、连词、助词.先秦时已有用例,后一直沿用于文言中.现代汉语书面语也使用.” “惟,可用作副词、连词、助词.先秦已普遍使用,后一直沿用于文言中.”
那么是否意味着,在现代汉语中,“唯”完全取代了“惟”,二者在意义上没有任何差别了呢?
首先,我们来看《说文》对于二者地解释.
“唯,诺也.”
“惟,凡思也.”
在字的本意上,二者是有差别的“唯”表一种应答,“惟”表示思考.
然后,在《现代汉语大词典》中,对于二者是这样解释的：
“唯”（wéì）⑴独；仅；只有⑵以；因为⑶表示希望、祈请⑷听凭；任随⑸思；考虑⑹虽然；即使⑺语首助词.亦写作“唯”“维”
（wěì）⑴应答声⑵招呼声
“惟”(wéì)⑴思考；思念⑵有⑶为；是⑷听从；随从⑸愿；希望⑹副词,相当于“只有”⑺连词,也作“唯”“维”⑻介词,也作“唯”“维”,相当于“以；由于”⑼助词,也作“唯”“维”⑽水名.通“潍”⑾通“帷”⑿姓
(wěì)⑴专一⑵独一无二
看两字的第一项释义,读wéì时,“唯：独、仅”,“惟：思考”；
读wěì时,“唯：应答声”,“惟：专一”.与《说文》差别不大.
再看《古代汉语虚词词典》对二者用法的列举.
词性
“唯”
“惟”
副词
1、 表示对事物或动作的范围加以限定.可译为“只”、“仅仅”等.
2、 用于对话中,表示听到或同意对方的谈话,也可叠用作“唯唯”.可译为“是”、“对”、“嗯”等.
1、用于谓语前,表示对事物或动作的范围加以限定,可译作“只”、“仅仅”等.
连词
1、 连接分句,表示假设和让步,相当于“虽”.可译为“即使”、“纵使”等.
2、 连接分句,表示动作、行为的原因、理由.可译为“由于”、“正因为”等.
1、 用于名词或名词性词组之间,表示并列关系.可以译为“和”、“与”等.
2、 连接分句,表示假设和让步,相当于“虽”.可译为“纵使”、“即使”等.
3、 表示动作、行为的原因、理由.可译为“由于”、“正因为”等,或随上下文义灵活译出.
助词
1、用在句首,意在引出话题,为立言行文开端.可不必译出.
1、 用在句首,意在引出话题,为立言行文开端.可不必译出.
2、 用在句首,引出时间、处所.可不必译出.
作为副词时“惟”没有表示“应答”的意思.例如：
《易·乾》：“知进退存亡而不失其正者,其唯圣人乎.”（副词,独、仅）
《论语·述而》：“用之则行,舍之则藏,惟我与尔有是夫!”（副词,只有）
而在《论语·里仁》：“子曰：‘参乎!吾道一以贯之.’曾子曰：‘唯.’”中,就不可以用“惟”替代.在这个层面上,“唯”可以包含“惟”.
作为连词时“唯”可连接分句,“惟”在此基础上还可以连接名词.例如：
《荀子·性恶》：“然则唯禹不知仁义法正……”（连词,虽然、即使）
《史记·淮阴侯列传》：“（韩）信再拜贺曰：‘惟信亦以为大王弗如也.’”（连词,即使）
《老子·第二章》：“夫唯不居,是以不去.”（连词,由于）
《左传·哀公元年》：“阖庐惟能用其民,以败我于柏举.”（连词,由于）
而在《尚书·禹贡》：“齿革羽毛惟木.”中,“惟”表示“和、与”.这里,就不能用“唯”来替代.
作为助词时“惟”的用法比“唯”稍细致些,但可以忽略.
也就是说,“唯”并不能完全取代“惟”,只是,在现代汉语中,用到只能使用“惟”的情况并不多.