中文名：四氟甲烷；四氟化碳
英文名：tetrafluoromethane; carbon
tetrafluoride
分子式：CF4
相对分子质量：88.01CAS号：75-73-0
危险性类别：第2.2类
不燃气体化学类别：卤代烷
四氟化碳是目前微电子工业中用量最大的等离子蚀刻气体,可广泛应用于硅、二氧化硅、氮化硅,磷硅玻璃及钨等薄膜材料的蚀刻,在电子器件表面清洗,太阳能电池的生产,激光技术、气相绝缘、低温制冷、泄漏检验剂、控制宇宙火箭姿态,印刷电路生产中的去污剂等方面也大量使用.
侵入途径：接触眼睛,接触皮肤,吸入,误食
健康危害：当中害者因为缺氧不省人事,必须转移到没受污染的地方使之能呼吸新鲜空气或者输入氧气
环境危害：该物质在常温常压下是气体.吸入高浓度的溶液后,会发生头昏、恶心、呕吐、方向感丧失、失调、昏迷.吸入者会窒息.低温气体会导致冻伤.