硅片清洗工序中,sc-1 sc-2化学清洗液PH值怎样算?

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  • 标准RCA 溶液配比浓度大：SC1氨水：双氧水：水=1：1：5-1：2：7

    SC2氯化氢：双氧水：水=1：1：6-1：2：8

    氯化氢浓度37% 氨水浓度27% 双氧水30%

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