M中有一个元素时有{1},1个
M中有二个元素时有{1,2}.{1,3}.{1,4},{1,5},共有4个
有三个元素时有4*3/2=6个
有四个元素时有4个
有五个元素时有1个
故共有:1+4+6+4+1=16个.