以至(以至于) 有两种用法.
①连接词或短语,表示在时间、数量、范围、程度等方面的延伸,一般表示从小到大,从少到多,从浅到深,从低到高,有时也用于相反的方向,有“直到”“直至”的意思.例如：
如今人们已经不仅能够预知几天的,而且能够预知几个月以至几年的天气趋势.
熟练的技能是经十次、百次以至上千次的练习才能获得的.
所谈的内容很广,自人类社会以至天地、宇宙,无所不包.
实践、认识、再实践、再认识,这种形式,循环往复以至无穷,而实践和认识之每一循环的内容,都比较地进到了高一级的程度.(毛泽东《实践论》)
②连接分句,用在后一分句开头,表示由于上述情况的程度很深而产生的结果.例如：
现代科学技术的发展日新月异,以至从前神话、童话中的一些幻想故事,现在都有可能成为现实.
哥白尼的学说为越来越多的人所了解,并且得到越来越多的拥护者,以至罗马的教会在拟订历法改革方案时,都不能不利用哥白尼的数据.
“以至于”,意义、用法同“以至”.以上例句中的“以至”都可以换成“以至于”.例如：
螽斯的歌唱既能表达悲哀,也能表达欢乐,以至于难以分清到底是在哀鸣,还是在欢歌.
以致 只有一种用法,即连接分句,用在后一分句开头,表示由于上述原因而造成的结果(多指不好的或说话人不希望的).例如：
他没有认真备考,以致未能通过职业资格考试.
他只听一面之词,以致作出了错误的判断.
代表既得利益集团的保守势力对他围追堵截,逼得他无路可走,以致这场号称“改革”的小小改良很快就夭折了.
“以致”很少说成“以致于”.