碳化硅被氢氟酸腐蚀的化学方程式
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HF少量：SiC+4HF=CH4+SiF4
HF过量：SiC+6HF=CH4+H2[SiF6]
H2SiF6是氟硅酸,一种很强的酸,只在溶液中存在,由SiF4何HF化合得到
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