磁控溅射中撞击Ar原子的是被电场加速的电子,公认的是碰撞理论,入射离子与固体表面原子发生弹性碰撞后,将其中一部分能量给了原子,该原子的动能超过它与其他原子形成的势垒（对金属约5--10ev)时,原子就会从晶格点阵碰出,形成离位原子,又与其他附近原子发生反复碰撞--联级碰撞.当原子动能超过结合能（1--6ev)时,原子离开表面进入真空室沉积在设置的基体上,形成薄膜.
入射正离子轰击固体表面后除产生原子外,还有其他现象产生,主要是原子和电子.原子沉积在基体上形成薄膜,电子用来维持辉光放电的继续.二次电子主要是氩原子被撞击后产生的,Ar+离子最后撞击靶材（靶材是阴极带负电）,失去能量,得到电子,还原为氩原子,所以在溅射纯金属时,氩流量确定以后,无论提高还是降低溅射功率,真空度基本不变,而在反应溅射时,反应气体过量时,提高溅射功率可以减轻真空度降低.