电子显微镜以电子束来代替可见光束,分辨率没可见光谱之内的限制,分辨率可达原子直径的两倍.放大率是200～200 000倍,有两类1发射型用于研究电子放射现象.2电磁、静电扫描型用以增加普通光学显微镜的应用范围.