5POCl3---- 3PCl5 + P2O5 4PCl5+ 5O2----2P2O5+ 10Cl2
2P2O5 + 5Si ---- 5SiO2 + 4P你说的是太阳能电池中扩散工艺,化学物品为三氯氧磷!
预扩是指在硅片表面浅扩,增加扩散氛围,为再扩散更好的准备!
深扩(再扩):相对预扩深度大,形成需要的PN结(就是把磷原子运动到时硅原子中间去)!
至于空穴原理,说不清,看书去!
5POCl3---- 3PCl5 + P2O5 4PCl5+ 5O2----2P2O5+ 10Cl2
2P2O5 + 5Si ---- 5SiO2 + 4P你说的是太阳能电池中扩散工艺,化学物品为三氯氧磷!
预扩是指在硅片表面浅扩,增加扩散氛围,为再扩散更好的准备!
深扩(再扩):相对预扩深度大,形成需要的PN结(就是把磷原子运动到时硅原子中间去)!
至于空穴原理,说不清,看书去!