外延片 epitaxial wafer 用外延方法制备的具有电致发光功能的结构片
外延 epitaxy 用气相、液相或分子束等方法在衬底上生长单晶材料的工艺.在衬底上生长组分与衬底材料相同的单晶材料,称同质外延;在衬底上生长与衬底组分不同的单晶材料,称异质外延.
外延片 epitaxial wafer 用外延方法制备的具有电致发光功能的结构片
外延 epitaxy 用气相、液相或分子束等方法在衬底上生长单晶材料的工艺.在衬底上生长组分与衬底材料相同的单晶材料,称同质外延;在衬底上生长与衬底组分不同的单晶材料,称异质外延.