应该是二氧化氮,硝酸和氢氟酸比例应该是2:1至10:1,硝酸和氢氟酸都是刻蚀溶液,硅的腐蚀问题.硝酸是氧化剂,氢氟酸作络合剂.
3Si+4HNO3=3SiO2+2H2O+4NO
2NO+O2==2NO2
SiO2+6HF=H2[SiF6]+2H2O
由于生成的NO在空气中遇到氧气生成NO2是黄色
多晶硅与硝酸加氢氟酸反应生成的黄色烟雾是什么?
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