怎样减小变面积式电容式传感器的非线性

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把被测的机械量,如位移、压力等转换为电容量变化的传感器.它的敏感部分就是具有可变参数的电容器.其最常用的形式是由两个平行电极组成、极间以空气为介质的电容器（见图）.若忽略边缘效应,平板电容器的电容为εS/d,式中ε为极间介质的介电常数,S为两极板互相覆盖的有效面积,d为两电极之间的距离.d、s、ε 三个参数中任一个的变化都将引起电容量变化,并可用于测量.因此电容式传感器可分为极距变化型、面积变化型、介质变化型三类.极距变化型一般用来测量微小的线位移或由于力、压力、振动等引起的极距变化(见电容式压力传感器).面积变化型一般用于测量角位移或较大的线位移.介质变化型常用于物位测量和各种介质的温度、密度、湿度的测定.